的諧振器,測得其有效機(jī)電耦合系數(shù)為4.081%,回波損耗(S11)為 23:89 dB。這種SMR機(jī)械強(qiáng)度高、可靠性 高、尺寸小,具有可立體集成到CMOS芯片...薄膜體聲波諧振器及濾波器具有工作頻率高、工藝簡單、尺寸小、易于集成等優(yōu)點,成為目前應(yīng)用于高頻通信前置濾波器的。本文系統(tǒng)介紹了用于薄膜體聲波諧振器的幾種主要材料(A1N、ZnO、PZT)的具體特點、制備工藝及薄膜體聲波諧振器與濾波器的結(jié)構(gòu)、設(shè)計及其應(yīng)用。

BAW諧振器應(yīng)用了MEMS工藝,以便將石英晶體的工作機(jī)理擴(kuò)展到更高頻率。壓電層的典型厚度在幾個微米或更低。壓電層可以驅(qū)動一個...第2期 陳振雄等：基于FBAR 諧振器件的CMOS 振蕩電路特性比較 323 2017 年,Hassan 利用品質(zhì)因子為500 的固態(tài)裝配諧振器(Solidly Mounted Resonators,SMR)制作了一個相位噪聲 為-126.85 dBc/Hz@1 MHz、振蕩頻率為1.75 GHz的振蕩器[5]；2017 年,Arantxa利用品質(zhì)因子為1 200的聲表面

這種類型的BAW被稱為固態(tài)裝配諧振器（SMR）。 魯棒性而言,SMR比膜結(jié)構(gòu)的BAW要好很多。 在劃片和裝配所需的各種標(biāo)準(zhǔn)工序中,沒有機(jī)械損壞的風(fēng)險...固態(tài)裝配型（SMR）BAW濾波器,它借用光學(xué)中的布拉格層技術(shù),在諧振器底電極下方制備高、低交替的聲阻抗層,從而將聲波限制在壓電堆之內(nèi)。 布拉格反射層一般采用W和SiO2作為高低聲學(xué)阻抗層,因為W和SiO2之間的聲學(xué)阻抗值相差較大,而且這兩種材料都是標(biāo)準(zhǔn)CMOS工藝常用的材料。

通過建立固態(tài)裝配諧振器(SMR)模型,考慮硅襯底的聲學(xué)損耗,從壓電理論出發(fā),仿真分析了不同布喇格層數(shù)對SMR的諧...這種類型的 BAW 被稱為固態(tài)裝配諧振器（SMR）。 魯棒性 而言, SMR 比膜結(jié)構(gòu)的 BAW 要好很多。 在劃片和裝配所需的各種標(biāo)準(zhǔn)工序中, 沒有機(jī)械損壞的風(fēng)險。 壓電層和電極層上受到的層壓力也不會造成問題。 對需要有很大功率承受能力的 BAW ...

這種類型的BAW被稱為固態(tài)裝配諧振器（SMR）。 魯棒性而言,SMR比膜結(jié)構(gòu)的BAW要好很多。在劃片和裝配所需...它們都是由介質(zhì)諧振器制成的,因此,歸根到底,微波電路的全集成化,極大地依賴于微波介質(zhì)諧振器材料的開發(fā)。 微波是指從300MHz到3OGHz之間的頻段。 劃分為UHF,L,S,X,Ku等波段,相應(yīng)于0.3～1、1～2、3～4、4～8、8～12GHz直到毫米波。

壓電諧振器的阻抗-頻率響應(yīng)特性中有兩個十分重要的頻率點,即串聯(lián) 諧振頻率fs和并聯(lián)諧振頻率fp。當(dāng)壓電諧振器處于串聯(lián)諧振頻率f,時諧...該種之卜,免除了CMP丁藝步驟,極L人地提高 類型的FBAR又被稱為固態(tài)裝配諧振器（sMR）。其nJ。行性。 其典型的制備流程為在清洗十凈的硅襯底 L｛－通常情況下高、低聲阻抗材料為w和 Si02兩種．卜依次生長犧牲材料膜層、支撐膜 ...

基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器：體聲波濾波器BAW - 全文-體聲波（BAW）和薄膜腔聲諧振器（FBAR）濾波器被分別用來替代移動電話中的傳統(tǒng)射頻...【摘要】：通過建立固態(tài)裝配諧振器(SMR)模型,考慮硅襯底的聲學(xué)損耗,從壓電理論出發(fā),仿真分析了不同布喇格層數(shù)對SMR的諧振性能的影響。仿真結(jié)果表明,由于布喇格層對聲波的有效反射,減少了聲能在襯底的損耗和襯底造成的雜散諧振,使SMR的品質(zhì)因數(shù)得到很大提高;用Si3N4和SiO2作為布喇格層材料,要 ...

體聲波（BAW）和薄膜腔聲諧振器（FBAR）濾波器被分別用來替代移動電話中的傳統(tǒng)射頻濾波器,因為目前其性能已超過表面...圖1.2（c）為固態(tài)裝配型（SMR）諧振器。這種器件結(jié)構(gòu)采用布拉格反射層將聲 波限制在壓電振蕩堆之內(nèi),布拉格反射層采用高低阻抗交替的聲學(xué)層。聲波在在反射 層中兩種不同阻抗的聲學(xué)層界面上發(fā)生多次反射,形成駐波。

薄膜體聲波濾波器的材料、設(shè)計及應(yīng)用詳細(xì)解析-隨著現(xiàn)代無線通信技術(shù)向高頻、高速方向的發(fā)展,人們對高頻通信常用的前置濾波器提出了...這種類型的 BAW 被稱為固態(tài)裝配諧振器 （SMR）。魯棒性而言,SMR 比膜結(jié)構(gòu)的 BAW 要好很多。在劃片和裝配 所需的各種標(biāo)準(zhǔn)工序中,沒有機(jī)械損壞的風(fēng)險。壓電層和電極層上受到的層 壓力也不會造成問 …

其中一種類型的BAW諧振器是固態(tài)裝配型諧振器(solidly mounted resonator,SMR)。SMR使用布拉格聲學(xué)反射器反射聲波。用低聲學(xué)...il 十低、高聲阻抗膜層分別交替堆疊的結(jié)構(gòu)卜,該種 類型的FBAR又被稱為固態(tài)裝配諧振器（sMR）。其 L｛－通常情況下高、低聲阻抗材料為w和Si02兩種 膜層,它們的聲同i抗分別為lO．56107kg／m！ S和 l_25107kg／m2S。 在SMR的 ...

通過建立固態(tài)裝配諧振器（SMR）模型,考慮硅襯底的聲學(xué)損耗,從壓電理論出發(fā),仿真分析了不同布喇格層數(shù)對SMR的諧振...其他類型的 BAW 濾波器包括 FBAR（薄膜體聲波諧振器）和 BAW-SMR（固態(tài)裝配諧振器 BAW）設(shè)備,其中包括能夠很好地捕獲聲波并產(chǎn)生高聲能的附加微結(jié)構(gòu)——因而在微波頻率和相同尺寸的條件下,此類濾波器的 Q 值要高于任何其他的濾波器。

固貼式薄膜體聲波諧振器用材料體系研究進(jìn)展 劉 罡, 朱嘉琦, 賽, 陸曉欣, 劉遠(yuǎn)鵬, 霍施宇, 袁欣薇 (哈爾濱工業(yè)大學(xué) 復(fù)合材料與結(jié)構(gòu)研究所, 哈爾...1965 年由 Newell 制備出固態(tài) 裝配型諧振器[13],緊接著在 1967 年 Sliker 等又研制出基于 CdS 薄膜的諧振器 [14], 1980 年 Lakin 和 Wang 實現(xiàn)了在 Si 襯底上制備諧振頻率達(dá)到 500MHz 的基 于 ZnO 薄膜的諧振器[15],在此之后的 1990 年,Krishnaswamy

其他類型的BAW濾波器包括FBAR（薄膜體聲波諧振器）和BAW-SMR（固態(tài)裝配諧振器BAW）設(shè)備,其中包括能夠很好地捕獲聲波并產(chǎn)生高聲能的附加微結(jié)構(gòu)...過去幾年中,隨著射頻集成電路技術(shù)和系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的發(fā)展,移動電話中射頻部分的很多分立器件已被替換。為明顯的是接收機(jī)中分立的低噪聲放大器（LNA）和中頻（IF）濾波器已經(jīng)被集成到射頻集成電路中。可以預(yù)期各射頻模塊將逐步被集成到標(biāo)準(zhǔn)BiCMOS或CMOS集成電路中,但還是有幾類射 …

在固態(tài)裝配型諧振器（SMR）方面,論文采用上述模型分析了四分之一波長布拉格反射柵對其諧振特性的影響,得到了S...